產品&服務 Products & services
集成電路 IC
  集成電路作為信息產業的基礎及核心,是關系國民經濟和社會發展全局的基礎性、先導性和戰略性產業,已成為拉動電子工業邁向數字時代的強大引擎。國際上也以其技術水平作為衡量國家綜合國力的重要標志之一。集成電路制造領域,NAURA厚積薄發,自主研發了國內首臺應用于14nm先進制程的等離子硅刻蝕機,已正式進入客戶生產線;應用于28nm制程的Hardmask PVD設備,已成為國內主流芯片代工廠的Baseline設備,并成功進入國際供應鏈體系,代表著國產集成電路工藝設備的最高水平;單片清洗機、立式氧化爐、單片退火系統、Al Pad PVD等設備也均進入主流代工廠,實現批量銷售。
等離子刻蝕設備 Etcher
物理氣相沉積設備 PVD
化學氣相沉積設備 CVD
氧化擴散設備 Oxide/Diff
清洗設備 Cleaning Tool
輔助設備 Facility
氣體測量控制 Gas Measuring Control
原子層沉積設備ALD
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