產品&服務 Products & services
微機電系統 MEMS
  采用微制造技術,集微型機構、傳感器、執行器等于一體的MEMS器件,其小體積、集成化、智能化傳感系統是未來傳感器的發展方向,也是物聯網的核心。在萬物互聯時代高速成長的大趨勢下,其發展會受到來自智能硬件、智能汽車、智能工廠等領域的強大助力,并將向環境監測、醫療保健等領域不斷擴展,具有十分廣闊的前景。在MEMS領域,NAURA深硅刻蝕設備已批量銷往多家科研機構及生產線,并獲得了廣泛的認可與好評;臥式LPCVD已成功應用于半導體級碳納米管生長;并成功研發先進氮化鋁薄膜沉積設備及工藝解決方案。
等離子刻蝕設備 Etcher
物理氣相沉積設備 PVD
化學氣相沉積設備 CVD
氧化擴散設備 Oxide/Diff
清洗設備 Cleaning Tool
輔助設備 Facility
氣體測量控制 Gas Measuring Control
原子層沉積設備ALD
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