產品&服務
Products & services
光伏電池 Photovoltaic
太陽能光伏發電做為可再生能源的重要組成部分，是國家能源長期發展及環境保護的戰略性、基礎性產業。太陽能光伏發電已經成為調節能源消費結構、促進國民經濟產業轉型的杠桿，國際上以其作為傳統能源的替代品。太陽能光伏制造領域，NAURA自主創新，研發了國內首臺應用于高效光伏電池生產的負壓擴散爐，打破了國際技術壟斷，獲得市場認可，穩居國內市場首席。其光伏交鑰匙工程，作為國內首家整線設備出口廠商，成功獲得海外客戶訂單，進入國際供應鏈體系。其在線濕法刻蝕清洗機、在線濕法制絨機、槽式單晶制絨機、臥式擴散氧化爐、PECVD等設備均已實現進口替代。
化學氣相沉積設備 CVD
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適用于光伏領域SiNx、SiOx、SiONx、AlOx薄膜淀積。單臺產能大于160MW，工藝效果優異。具備快速鍍膜功能
氧化擴散設備 Oxide/Diff
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HORIS D8573AL用于低壓環境下磷擴散及硼擴散工藝，實現高方阻、高均勻性、高產能的需求。應用于光伏及半導體領域。
清洗設備 Cleaning Tool
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石英舟/管清洗機，可用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
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槽式黑硅制絨清洗機應用于多晶硅電池黑硅制絨，提高電池轉換效率，降低電池成本。
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槽式單晶制絨清洗機應用于形成單晶硅電池金字塔絨面，提高電池轉換效率。
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槽式清洗機應用于光伏行業的硅芯/硅棒、硅塊等硅材料的清洗。
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在線式多晶制絨清洗機應用于多晶硅電池的在線連續式去損傷清洗和制絨。
移載傳送設備 Indexer
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用于晶硅太陽能自動化生產線，負責各工藝單元之間片籃的自動傳輸
輔助設備 Facility
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藥液供給/回收系統為各研究所、高等院校等提供靈活的客戶化定制機臺，滿足客戶需求。
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用于對硅片或其他工件表面進行刻蝕或清洗工藝的需求
氣體測量控制 Gas Measuring Control
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CS100系列產品采用客戶定制化設計并獨創零點補償功能，更好的適應客戶環境。
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CS200系列是可滿足半導體、光伏、真空鍍膜高端客戶的數字式流量測控產品。