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氣體測量控制 Gas Measuring Control
質量流量計(MFM)/質量流量控制器(MFC)屬于一種工業自動化儀表,可以應用到對各種氣體(含蒸汽)進行測量或控制,目前常用的有量熱式、角動量式、振動陀螺式、馬格努斯效應式和科里奧利力式等質量流量計,NAURA研制生產的是量熱式質量流量計,質量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質量流量,質量流量控制器(MFC)除測量外還可以精密控制氣體的質量流量。MFM/MFC具有不因溫度和壓力的波動而失準、重復性好、自動測量控制、工作壓力范圍寬等特點,MFM/MFC可以在真空或高壓氣路中工作。它被廣泛應用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫療、航空電力等行業。
集成電路 IC
光伏電池 Photovoltaic
先進封裝 Advanced Packaging
科研設備 R&D Equipment
微機電系統 MEMS
真空鍍膜 Vacuum Coating
半導體照明 LED
分析儀器 Analysis Instrument
功率器件 Power Devices
節能環保 Energy Saving
平板顯示 FPD
光通信器件 Optical Information Devices
燃料電池 FC
備品備件 Parts
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