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半導體裝備 Semiconductor
CS200系列 數字式質量流量計/質量流量控制器 CS Digital Series Mass Flow Meter/Digital Mass Flow Controller
氣體流量的測量控制在工業生產過程廣泛地運用,質量流量控制器(MFC)除測量外還可以精密控制氣體的質量流量。MFM/MFC具有不因溫度和壓力的波動而失準、重復性好、自動測量控制、工作壓力范圍寬等特點隨著微電子技術的發展,測量手段和補償方法得到了很大的提高。隨著傳統能源的逐漸減少,可再生能源需求逐年增加,太陽能電池、燃料電池的研究和制造在全球如火如荼的發展,伴隨科技的發展,半導體、液晶面板、ITO屏幕及新一代建筑幕墻玻璃的研究和制造在各地日新月異的進步。在以上制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節約了能源和提高了生產力。北方華創致力于質量流量計的發展,為一流的制造工藝,包括半導體、光電和LOW-E玻璃的制造提供服務,并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。

應用領域

半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜、高端分析儀器


產品優勢

  • 可滿足客戶寬范圍流量計需求,適合從小流量(2sccm)到大流量(50slm)的量程需要。
  • 準確度采用設定點精度,高端產品精度可達±1.0% S.P.,響應時間≤ 0.8sec。
  • 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現象,保證了傳感器線性。
  • 高端產品采用專門的金屬表面處理技術,與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,嚴格按照SEMI標準生產制造。
  • CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字,模擬輸入輸出。
  • 產品尺寸符合國際通用的SEMI標準,RS485,DeviceNet通訊方式。
  • 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
聯系方式
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