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NMC508M 8英寸鋁金屬刻蝕機 NMC508M 8 Inch Al Metal Etcher
??NMC508M 8英寸鋁金屬刻蝕機是電感耦合高密度等離子體干法刻蝕機,主要用于200mm硅片的金屬鋁和鎢的刻蝕工藝。NMC508M為多腔室集群設備(Cluster Tool),是一個全自動的、能夠進行串行或并行工藝處理的刻蝕系統。該系統主要由傳輸模塊(Transfer Module)、金屬刻蝕工藝模塊(Metal Etch Process Module)、去膠模塊(Strip Process Module)、冷卻模塊(Cooling station)、電源柜(Remote AC Power Rack)和控制柜(Control Rack)等組成,其中金屬刻蝕工藝模塊用于進行金屬刻蝕工藝,去膠模塊用于去除金屬刻蝕后的殘余光刻膠和殘...
應用領域

??0.35-0.11μm集成電路


產品優勢

  • 金屬刻蝕反應室內部采用硬質陽極氧化和高純陶瓷材料,兼容干法清洗(Dryclean)技術,顆粒控制能力優良。
  • 金屬刻蝕反應室關鍵部位采用多種溫度控制技術,保持腔室環境溫度穩定,大幅提升顆粒控制能力。
  • 金屬刻蝕反應室采用中心進氣噴嘴設計、側下抽氣反應室結構,氣體流場均勻性優良。
  • 金屬刻蝕反應室采用內門結構,提升等離子體分布均勻性。
  • 金屬刻蝕反應室采用多體式全內襯設計,維護操作便利。
  • 金屬刻蝕反應室采用200-800nm全光譜OES終點監測系統,可針對不同的工藝應用靈活配置終點監測方案。
  • 去膠反應室采用一體式微波系統,維護便利。
  • 軟件具有安全方便的權限管理,人性化的操作界面和完善的日志記錄功能,支持工廠自動化(FA)。



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