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ELEDE? 380G+/G380C刻蝕機 ELEDE? 380G+/G380C Etcher
??ELEDE 380系列刻蝕機是LED芯片制作的關鍵設備, 可以用于正裝芯片,倒裝芯片,垂直芯片這三種芯片中的電極刻蝕(刻蝕材料GaN, AlGaInP/GaP),隔離刻蝕(刻蝕材料GaN, GaAs),鈍化層刻蝕(刻蝕材料SiO2, SiNX),介質反射層刻蝕(刻蝕材料SiO2 和TiO2),金屬阻擋層刻蝕(刻蝕材料TiW)。良好的刻蝕均勻性對最終芯片的亮度和良率至關重要,ELEDE 380系列產品結合獨特的線圈設計、下電極設計和托盤設計,實現良好的工藝均勻性控制,滿足不同產品制程中的多種刻蝕材料工藝應用。ELEDE 380系列刻蝕機是LED領域標桿產品,市場占有率超過90%。

應用領域

??半導體照明


產品優勢

  • 良好的的均勻性控制,片內,片間,盤間均勻性<5%。
  • 刻蝕速率快,每盤可裝載9片晶片(4inch), 月產能高,有效降低LED客戶單片運行成本。
  • 可兼容2~6英寸不同規格的晶片。
  • 可以滿足多種刻蝕材料工藝應用。
  • 搭配獨特的托盤設計, 確保極邊緣位置(ee1mm)刻蝕干凈,芯片良率高。
  • 可以搭配OESOptical Emission Spectroscopy)進行終點控制,實現工藝的精確控制。
  • 軟件具有安全方便的權限管理,人性化的操作界面,完善的日志記錄功能。
  • 精確的刻蝕控制能力,確保對LED電極無損傷。
  • 更精確射頻控制系統,充分保證量產重復性、穩定性和安全性。
  • 更高效的干法清洗,延長PM周期。
  • 全自動化控制,降低人員操作難度。


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