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半導體裝備 Semiconductor
ELEDE? 380E PSS刻蝕機 ELEDE? 380E PSS Etcher
??圖形化藍寶石襯底(PSS)是LED制備中的一項關鍵技術,通過增加LED的內量子效率和提高光提取效率,可以將光效有效提高30~50%,是目前業內公認的提升芯片亮度最有效最直接的方法,也是大功率高亮度LED的最佳選擇。隨著AlN技術的引入和芯片價格的持續下滑,PSS襯底向更大的尺寸(1.8μm*2.8μm甚至更大)、更好的均勻性(片內<3%,片間<3%,批間<3%)、更高的產能(單臺月產能>7000片)、更低的生產成本(耗材成本、黃光成本)等方向發展,傳統干法刻蝕設備由于選擇比的局限性,已不能滿足要求,LED市場亟待新一代的高性能干法刻蝕...


應用領域

??LED領域圖形化藍寶石襯底刻蝕、納米級圖形化藍寶石襯底刻蝕


產品優勢

  • 強大的工藝兼容性,設備可兼容2寸、4寸、6寸晶片刻蝕。
  • 超高的刻蝕選擇比,單一BCL3氣體下選擇比>0.9,刻蝕高度高,圖形側壁形貌直。
  • 光膠適應窗口寬,2.3um光膠可實現1.8*2.8規格,有利于提升黃光產能和良率。
  • 產能優勢明顯,4寸8片托盤設計,單盤工藝時間小于40分鐘,月產能>7000片。
  • 優異的均勻性控制,整盤尺寸、形貌一致均勻,WIW%<3%,WTW%<3%,RTR<3%。
  • 有效的顆粒控制,PM周期長,PM部件快速拆卸,維護更加便捷。
  • 雙盤自動傳輸模式,設備利用率高,使用靈活。
  • 優化的工藝套件設計,更長的耗材壽命,合理的耗材價格,COO行業最低。
  • 累計銷售超過100臺,量產經驗豐富,可靠性高。



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