首頁>行業前沿>行業資訊>正文
行業前沿 News
行業資訊
北方華創吳軍-功率器件領域的硅外延設備解決方案
發布時間:2018-07-25

??來源:半導體行業資訊


??7月24日第十二屆中國半導體行業協會半導體分立器件年會在貴陽舉行,會上北方華創微電子副總裁,CVD事業部總經理吳軍博士做了《功率器件領域的硅外延工藝設備解決方案》的報告,主要介紹了硅外延工藝在硅基功率半導體領域的應用和北方華創硅外延設備的情況。


??以下內容為吳軍博士的分享,有半導體行業資訊整理。





??傳統功率器件主要包括晶閘管BJT GTO等,現代功率器件功率區間包括功率MOS器件,IGBT,Power IC等。


??功率器件的發展趨勢:新結構,新材料,新工藝。



??外延技術的應用包括硅外延,化合物外延。


??硅外延技術的應用,不同摻雜源,不同襯底圖形,不同的腔室壓力,不同的工藝溫度,不同的外延生長方式,不同的外延材料。



??硅外延技術的應用:GTR器件



??硅外延技術的應用:LDMOS器件



??硅外延技術的應用:VDMOS器件



??硅外延技術的應用:IGBT器件



??硅外延技術的應用:Multi-epi超結器件



??硅外延技術的應用:Deep Trench超結器件



??北方華創的硅外延工藝設備




??北方華創硅外延工藝設備包括針對厚膜硅外延的SES多片硅外延工藝平臺和針對薄膜硅外延工藝的Esther單片硅外延工藝平臺。


??硅外延的技術特點。




??SES多片厚膜外延設備介紹






??Esther單片薄膜外延設備介紹








??SIC材料的功率器件主要優勢及目前面對的主要問題。



??北方華創APS系列SIC單晶爐產品的工藝能力




??北方華創針對功率器件除了以上硅外延設備,SIC晶體生長設備外,還可提供包括ETCH,PVD,Wet Clean,臥式氧化擴散/LPCVD等工藝設備。


??北方華創作為中國最大的半導體裝備制造企業,在IC,先進封裝,MEMS及功率器件,LED,新能源光伏,平板顯示等六大領域進行了全面的產品布局。


??北方華創在擁有亦莊開發區,天竺保稅區和美國賓夕法尼亞州三大制造基地。建筑面積18萬平米,凈化廠房4萬平米。

相關內容推薦
性感美女视频-欧美人妖