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LPCVD助力高效電池TOPCon工藝提升
發布時間:2019-06-14

  在PERC電池技術已成為當前高效電池片生產的主流技術之后,N型高效電池N-PERT在量產轉化的路上遇到了一些困難,但TOPCon技術的出現,或許能夠解開N型高效電池量產化的難題,且這項技術或許也將是下一代量產型高效電池的一個選擇。





  那么我們從兩個方面簡單認識一下TOPCon電池,上圖為TOPCon常見結構。


  從結構方面來看,TOPCon結構分為兩層:第一層為超薄Oxide隧穿層,厚度1-2nm,可以通過熱氧、化學腐蝕方式形成;第二層是Poly層,可以由LPCVD、PECVD法制備。目前業內普遍認為LPCVD制備Poly膜層更加均勻致密,成膜質量更加優異。


  從性能方面來看,TOPCon結構是一個選擇性結構,只允許電子通過,這種結構使得電池具有良好的鈍化性能。除此之外,TOPCon結構還需要良好的電性能,就需要在Poly層進行摻雜。目前行業內主要通過過熱擴散、離子注入和原位摻雜三種方式來實現TOPCon結構的Poly層摻雜,其中原位摻雜可以由LPCVD設備完成。


  綜合來看,LPCVD設備不僅可以把Oxide隧穿層、Poly層、Poly摻雜三種工藝集成起來,通過一臺設備實現TOPCon結構制備,還能夠降低電池背面金屬復合,提高轉換效率。因此我們認為LPCVD設備,是幫助N-PERT向N-TOPCon轉型的關鍵設備之一。

LPCVD



  北方華創HORIS L8571A型LPCVD設備不僅可以實現超薄Oxide和Poly二合一工藝制備的能力;而且通過高效的成膜速率和精準控溫技術縮短了工藝時間;我們還對設備結構進行優化,降低了反應腔室PM周期,并為硅片繞鍍提供良好的解決方案;通過該設備制備的薄膜具有優異的致密性和均勻性。


  北方華創已在大產能LPCVD上做了長期研究,并與多家客戶保持長期合作。北方華創將用一流的技術和品質助力高效電池TOPCon工藝降本提效。


  北方華創多年來一直致力于高端光伏裝備的研發和制造,堅持工藝是設備的核心競爭力,為解決業界痛點而精準研發。未來北方華創將一如既往,攜手業界同仁,為推動光伏行業降本提效而努力。




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