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三分鐘讀懂干法刻蝕設備
發布時間:2017-05-19

本文要向大家講的硅刻蝕設備是北方華創公司研發的干法刻蝕設備,具有硅片傳輸自動化程度高、工藝調節手段多樣、設備可靠性高、機臺占地面積小、設備產能大、維護簡單、機臺成本低等特點,簡直就是您“居家旅行、出門必備”、超高性價比的首選設備。


這款干法刻蝕設備包括兩個模塊,傳輸系統模塊和工藝系統模塊。

傳輸系統的主要作用就是通過機械手自動將晶圓從大氣腔傳輸到真空腔,這個過程就好比人的手臂將盤子從桌子上拿到微波爐一樣。

工藝系統模塊就是對晶圓進行工藝處理的腔室,這個腔室要求非常嚴苛。首先要達到非常高的真空度并且對壓力進行控制,其次要達到一定的環境溫度并保持穩定,再次腔室內可以通入多種特殊氣體,另外還得有電極能夠電離特殊氣體的原子或分子形成等離子體,從而使得晶圓上的圖形在等離子體的作用下通過一系列的物理和化學作用實現刻蝕工藝要求的圖形。

壓力場、氣流場、溫度場、電磁場等綜合作用在腔室內部形成復雜的工藝環境,通過對各種參數的精確控制,就實現了晶圓表面的各種神奇的圖形,可以是刻蝕面、刻蝕槽、刻蝕孔或者組合而成的各種復雜圖形的刻蝕都可以通過干法刻蝕機來實現。這個過程就好比微波爐里的食物通過放置不同的食材、添加不同的作料、設置不同的溫度、放不同的時間,最終出來各種各樣不同美味、不同風格的菜品一樣。


北方華創微電子 第二刻蝕BU


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